光元件、光元件的制造方法及光调制器
摘要:
本发明提供一种能够在将基模的损失抑制得小的同时充分减少或除去高阶模、并且能够便宜且容易地制造的光元件及其制造方法、以及光调制器。该光元件具有:基板;以及第一光波导、第二光波导及第三光波导,形成于所述基板上,分别具有下部包层、芯层及上部包层,所述芯层与所述下部包层及所述上部包层相比折射率大,所述第一光波导与所述第二光波导光学连接,所述第二光波导与所述第三光波导光学连接,所述第一光波导、第二光波导及第三光波导具有至少所述上部包层及所述芯层的上部形成为在所述下部包层上突出的台面状的台面结构,当将芯高度设为从所述台面结构的两侧的底面或所述台面结构的侧面的倾斜到达所述底面而变得不连续的部位到所述芯层的上表面为止的高度时,所述第三光波导的所述芯高度比所述第一光波导的所述芯高度低,当将台面宽度设为所述芯层的中央的宽度时,所述第三光波导的所述台面宽度比所述第一光波导的所述台面宽度窄。
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