一种加速铜沉积添加剂及其制备方法和应用
摘要:
本发明提供了一种加速铜沉积添加剂及其制备方法和应用,所述加速铜沉积添加剂具有式(I)所示结构;式(I)中,6≤n≤10。本发明提供的加速铜沉积添加剂同时具有双硫键和磺酸基,更重要的是,通过向分子中引入长度适中的碳链结构,在保证添加剂分子水溶性的同时,增加了添加剂分子在铜表面吸附的致密度,使其在电镀过程中能更好的协同氯离子加速铜离子的沉积;本发明提供的加速铜沉积添加剂加速效果强,进一步制备的电镀液满足高纵横比盲孔的填孔要求的同时,能够提高电镀生产效率。实验结果表明,将本发明提供的加速铜沉积添加剂用于铜电镀液,能够满足纵横比超过1的盲孔超等角电镀要求,适应未来电子产品发展方向,具有广阔的应用前景。
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