发明授权
- 专利标题: 一种半导体级单晶硅晶棒定向测试系统
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申请号: CN201810915272.2申请日: 2018-08-13
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公开(公告)号: CN108943451B公开(公告)日: 2022-12-02
- 发明人: 甄伟 , 赵松彬
- 申请人: 丹东新东方晶体仪器有限公司
- 申请人地址: 辽宁省丹东市高新技术产业开发区A-050号
- 专利权人: 丹东新东方晶体仪器有限公司
- 当前专利权人: 丹东新东方晶体仪器有限公司
- 当前专利权人地址: 辽宁省丹东市高新技术产业开发区A-050号
- 代理机构: 上海市锦天城律师事务所
- 代理商 汪妍瑜
- 优先权: 2018101552553 20180223 CN
- 主分类号: B28D5/00
- IPC分类号: B28D5/00
摘要:
本发明公开了一种半导体级单晶硅晶棒定向测试系统,包括料板机构、料板旋转机构、升降机构、摆转机构和驱动机构,所述摆转机构包括安装座,安装座的顶部安装有减速机,减速机的顶部设有与减速机连接的第二电机,第二电机的一侧安装有第一编码器,驱动机构设置于第二电机的另一侧,第二电机靠近驱动机构的一侧还安装有水平设置的定位探针,安装座的底部还安装有第二直线导轨,第二直线导轨的一侧活动安装有丝杠,丝杠的一端通过第一联轴器安装有第三电机,所述驱动机构包括行走部分、两组跟随行走部分运动的X光发生部分以及两组信号系统。本发明设计合理,使切片后精度控制在±3′以内,以满足半导体级单晶硅的切片制品精度日益提高的需要。
公开/授权文献
- CN108943451A 一种半导体级单晶硅晶棒定向测试系统 公开/授权日:2018-12-07