本发明公开了一种五元FeCoNiMoSi系高熵合金及其制备方法。本发明的目的是要解决现有结构钢耐热性能不佳的问题。所述高熵合金由Fe、Co、Ni、Mo、Si五种元素组成，其中Fe，Co，Ni三种元素的原子百分比均为25％，Mo和Si元素的原子百分比分别为20‑24％和1‑5％。所述高熵合金主要由面心立方相，拓扑密排相μ和Leaves相组成，随着Si含量的增加，出现了一个简单立方结构相。本发明获得的五元FeCoNiMoSi高熵合金普遍具有较高的强度和塑性，可以作为结构材料应用于耐热领域。