发明公开
- 专利标题: 超声波扫描显微镜水处理装置、及其使用方法
- 专利标题(英): Ultrasonic scanning microscope water treatment device and application method thereof
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申请号: CN201810878866.0申请日: 2018-08-03
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公开(公告)号: CN108956778A公开(公告)日: 2018-12-07
- 发明人: 孙必胜 , 刘命江
- 申请人: 德淮半导体有限公司
- 申请人地址: 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
- 专利权人: 德淮半导体有限公司
- 当前专利权人: 德淮半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
- 代理机构: 上海领洋专利代理事务所
- 代理商 吴靖靓
- 主分类号: G01N29/06
- IPC分类号: G01N29/06 ; G01N29/22
摘要:
本发明技术方案公开了一种超声波扫描显微镜水处理装置、及其使用方法。其中超声波扫描显微镜水处理装置,包括:密闭腔室;入水口,与所述密闭腔室连通,用于将水引入所述密闭腔室内;抽气口,与所述密闭腔室连通,用于将所述密闭腔室抽成低于大气压;出水口,与所述密闭腔室连通,用于将处理后的水输出。本发明技术方案采用水处理装置通过改变压强将水中的空气消除,从而消除在超声波扫描显微镜的超声探头高速移动时产生的气泡,有效地提高了机台的扫描速度及检测效率。