一种多层复合类金刚石薄膜材料及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种多层复合类金刚石薄膜材料及其制备方法。该多层复合类金刚石薄膜通过掺杂Ti含氢非晶碳和无掺杂含氢非晶碳周期性按比例交替沉积获得。本发明制备的Ti-DLC/α-C:H薄膜具有高结合强度、高韧性、优良的减摩耐磨性,涂覆于切削刀具加工玻璃纤维增强复合材料可使得刀具寿命提高2倍,且相对传统单层类金刚石涂层刀具寿命可提高48%。本发明制备工艺先进、生产效率高、成本低,易于工业化生产,具有推广价值。
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