- 专利标题: 一种多层复合类金刚石薄膜材料及其制备方法
- 专利标题(英): Multilayer composite diamond-like film material and preparation method thereof
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申请号: CN201810789778.3申请日: 2018-07-18
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公开(公告)号: CN108977766A公开(公告)日: 2018-12-11
- 发明人: 黄雷 , 李超 , 洪东波 , 袁军堂 , 汪振华 , 殷增斌
- 申请人: 南京理工大学
- 申请人地址: 江苏省南京市孝陵卫200号
- 专利权人: 南京理工大学
- 当前专利权人: 南京理工大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市孝陵卫200号
- 代理机构: 南京理工大学专利中心
- 代理商 邹伟红
- 主分类号: C23C14/06
- IPC分类号: C23C14/06 ; C23C14/35 ; C23C14/32 ; C23C14/02 ; C23C28/04
摘要:
本发明公开了一种多层复合类金刚石薄膜材料及其制备方法。该多层复合类金刚石薄膜通过掺杂Ti含氢非晶碳和无掺杂含氢非晶碳周期性按比例交替沉积获得。本发明制备的Ti-DLC/α-C:H薄膜具有高结合强度、高韧性、优良的减摩耐磨性,涂覆于切削刀具加工玻璃纤维增强复合材料可使得刀具寿命提高2倍,且相对传统单层类金刚石涂层刀具寿命可提高48%。本发明制备工艺先进、生产效率高、成本低,易于工业化生产,具有推广价值。
公开/授权文献
- CN108977766B 一种多层复合类金刚石薄膜材料及其制备方法 公开/授权日:2020-09-11
IPC分类: