一种机械式纳米级高精度直线驱动装置
Abstract:
一种机械式纳米级高精度直线驱动装置,包括减速步进电机、传动形式转换组件和传感器组件。步进电机提供动力输入,传动形式转换组件将旋转运动转换为直线运动,直线差分式传感器组件的传感器实时采集直线驱动器的输出位移信息构建闭环位置检测,从而实现纳米级高精度直线运动控制。装置中设有运动副预压消间隙措施,有效消除配合间隙以及运动磨损,确保高重复精度。装置中设计有柔性环节,提供直线输出的轴向预载,保证输出精度和稳定性。本发明相比传统直线驱动装置,结构新颖、简单紧凑,具有高精度、高稳定性及高空间环境适应性的特点。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0