发明授权
CN109037089B 重布线层的测试方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 重布线层的测试方法
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申请号: CN201710680991.6申请日: 2017-08-10
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公开(公告)号: CN109037089B公开(公告)日: 2020-09-15
- 发明人: 林汉文 , 徐宏欣 , 张简上煜 , 林南君
- 申请人: 力成科技股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹县
- 专利权人: 力成科技股份有限公司
- 当前专利权人: 力成科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹县
- 代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 梁挥; 祁建国
- 优先权: 15/619,969 2017.06.12 US
- 主分类号: H01L21/66
- IPC分类号: H01L21/66
摘要:
本发明公开一种重布线层的测试方法,导电层成形于第一载体的第一表面上,重布线层成形于导电层上,然后于重布线层上执行断路测试,由于导电层与重布线层构成一封闭的回路,故若重布线层成形正确,则断路测试时将会有负载呈现,于断路测试执行完毕后,将第一载体与导电层移除,并于重布线层上执行一短路测试,由于重布线层本身为一开启的回路,故若重布线层成形正确,则短路测试时将不会有负载呈现,因此可在芯片结合于重布线层之前确定重布线层是否具有缺陷,则将不会因为重布线层的缺陷而浪费良好的芯片。
公开/授权文献
- CN109037089A 重布线层的测试方法 公开/授权日:2018-12-18
IPC分类: