Invention Publication
- Patent Title: 微机械传感器和用于制造微机械传感器的方法
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Application No.: CN201780028744.6Application Date: 2017-05-04
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Publication No.: CN109073673APublication Date: 2018-12-21
- Inventor: J·克拉森 , D·古格尔 , G-N-C·乌尔里希 , M·林克-莱斯卡纳 , A·皮格勒尼耶
- Applicant: 罗伯特·博世有限公司
- Applicant Address: 德国斯图加特
- Assignee: 罗伯特·博世有限公司
- Current Assignee: 罗伯特·博世有限公司
- Current Assignee Address: 德国斯图加特
- Agency: 永新专利商标代理有限公司
- Agent 侯鸣慧
- Priority: 102016207866.6 2016.05.09 DE
- International Application: PCT/EP2017/060604 2017.05.04
- International Announcement: WO2017/194376 DE 2017.11.16
- Date entered country: 2018-11-09
- Main IPC: G01P15/125
- IPC: G01P15/125 ; G01P15/18 ; G01P15/08

Abstract:
本发明涉及一种微机械传感器(200),具有:-衬底(1);-在三个空间方向(x、y、z)上敏感的、能运动的质量元件(10);-用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向x偏移的两个x横向电极(20、21、22);-用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向y偏移的两个y横向电极(30、31、32);-用于感测所述能运动的质量元件(10)的z偏移的z电极(33、34);其中,-每个横向电极(20、21、22、30、31、32)借助于固定元件(40、50、60、70)固定在所述衬底(1)上;其中,-所有电极(20、21、22、30、31、32、33、34)的固定元件(40、50、60、70、120、130)构造得靠近使所述能运动的质量元件(10)附接于所述衬底(1)的附接元件(13)。
Public/Granted literature
- CN109073673B 微机械传感器和用于制造微机械传感器的方法 Public/Granted day:2021-08-31
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IPC分类: