微机械传感器和用于制造微机械传感器的方法
Abstract:
本发明涉及一种微机械传感器(200),具有:-衬底(1);-在三个空间方向(x、y、z)上敏感的、能运动的质量元件(10);-用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向x偏移的两个x横向电极(20、21、22);-用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向y偏移的两个y横向电极(30、31、32);-用于感测所述能运动的质量元件(10)的z偏移的z电极(33、34);其中,-每个横向电极(20、21、22、30、31、32)借助于固定元件(40、50、60、70)固定在所述衬底(1)上;其中,-所有电极(20、21、22、30、31、32、33、34)的固定元件(40、50、60、70、120、130)构造得靠近使所述能运动的质量元件(10)附接于所述衬底(1)的附接元件(13)。
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