发明授权
- 专利标题： 组合物、组合物收容体及组合物的制造方法
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申请号： CN201780025662.6申请日： 2017-04-26
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公开(公告)号： CN109075052B公开(公告)日： 2024-08-20
- 发明人: 上村哲也
- 申请人： 富士胶片株式会社
- 申请人地址： 日本国东京都
- 专利权人： 富士胶片株式会社
- 当前专利权人： 富士胶片株式会社
- 当前专利权人地址： 日本国东京都
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 薛海蛟
- 国际申请： PCT/JP2017/016580 2017.04.26
- 国际公布： WO2017/188325 JA 2017.11.02
- 进入国家日期： 2018-10-25
- 主分类号： H01L21/304
- IPC分类号： H01L21/304 ; C01B15/023 ; C11D7/02 ; C11D7/08 ; C11D7/18 ; C11D7/26
摘要：
本发明的课题是提供一种能够用于制造半导体器件且含有过氧化氢的组合物，并且保存稳定性优异且对半导体基板的缺陷影响小的组合物。并且，本发明的另一课题是提供一种含有上述过氧化氢的组合物的制造方法及保管有上述组合物的组合物收容体。本发明的组合物含有过氧化氢、酸及Fe成分，上述Fe成分的含量相对于上述酸的含量，以质量比计为10‑5～102。
公开/授权文献
- CN109075052A 组合物、组合物收容体及组合物的制造方法 公开/授权日：2018-12-21
IPC分类:
