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发明公开
CN109097743A 一种超硬W-Cr-Al-Ti-N纳米梯度多层膜及其制备方法 有权

  • 专利标题： 一种超硬W-Cr-Al-Ti-N纳米梯度多层膜及其制备方法
  • 专利标题（英）： Ultra-hard W-Cr-Al-Ti-N nano gradient multilayer film material and preparation method thereof
  • 申请号： CN201811078099.1
    申请日： 2018-09-16
  • 公开(公告)号： CN109097743A
    公开(公告)日： 2018-12-28
  • 发明人: 李杨 , 张尚洲 , 叶倩文 , 朱宜杰 , 刘晓梅 , 陈永明 , 邵钲杰
  • 申请人： 烟台大学
  • 申请人地址： 山东省烟台市莱山区清泉路32号
  • 专利权人： 烟台大学
  • 当前专利权人： 烟台大学
  • 当前专利权人地址： 山东省烟台市莱山区清泉路32号
  • 主分类号： C23C14/32
  • IPC分类号： C23C14/32 ;  C23C14/06 ;  C23C14/02
一种超硬W-Cr-Al-Ti-N纳米梯度多层膜及其制备方法
摘要：
本发明提供了一种超硬W-Cr-Al-Ti-N纳米梯度多层膜材料及其制备方法，该制备方法采用多弧离子镀技术，在多层膜中引入钨元素，并采用NH3与N2共同作为反应气体，制得纳米梯度多层膜材料，强化了膜层间的结合力，并大大提升了膜层的硬度。
摘要（英）：

The invention provides an ultra-hard W-Cr-Al-Ti-N nano gradient multilayer film material and a preparation method thereof. Multi-arc ion plating technology is adopted in the preparation method, a tungsten element is introduced into a multilayer film, and NH3 and N2 are adopted as reaction gases together to prepare the nano gradient multilayer film material, so that the bonding force between film layers is strengthened, and the hardness of the film layers is greatly improved.

公开/授权文献
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