微机电系统(MEMS)麦克风偏置电压
摘要:
本发明描述了微机电系统(MEMS)传感器和相关的偏置电压技术。示例性MEMS传感器,诸如本文描述的示例性MEMS声学传感器或麦克风,可以采用一个或多个偏置电压发生器和单端或差分放大器布置。所描述的各种实施例可以有效地增加传感器元件可用的偏置电压,而不需要采用高击穿电压半导体工艺。另外,基于许多因素的考虑,描述了在各种操作模式下对一个或多个偏置电压发生器的控制。
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