发明授权
- 专利标题: 微机电系统(MEMS)麦克风偏置电压
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申请号: CN201780026534.3申请日: 2017-04-27
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公开(公告)号: CN109155890B公开(公告)日: 2021-03-09
- 发明人: 基耶朗·哈尼 , 亚得里安努斯·玛莉亚·拉福德 , 布莱恩·摩斯 , 迪昂·伊弗·德·卢
- 申请人: 应美盛公司
- 申请人地址: 美国加州
- 专利权人: 应美盛公司
- 当前专利权人: 应美盛公司
- 当前专利权人地址: 美国加州
- 代理机构: 北京国昊天诚知识产权代理有限公司
- 代理商 南霆; 程爽
- 优先权: 15/142,696 20160429 US
- 国际申请: PCT/US2017/029980 2017.04.27
- 国际公布: WO2017/189932 EN 2017.11.02
- 进入国家日期: 2018-10-29
- 主分类号: H04R19/00
- IPC分类号: H04R19/00 ; B81B7/00 ; H04R19/04 ; H04R3/04
摘要:
本发明描述了微机电系统(MEMS)传感器和相关的偏置电压技术。示例性MEMS传感器,诸如本文描述的示例性MEMS声学传感器或麦克风,可以采用一个或多个偏置电压发生器和单端或差分放大器布置。所描述的各种实施例可以有效地增加传感器元件可用的偏置电压,而不需要采用高击穿电压半导体工艺。另外,基于许多因素的考虑,描述了在各种操作模式下对一个或多个偏置电压发生器的控制。
公开/授权文献
- CN109155890A 微机电系统(MEMS)麦克风偏置电压 公开/授权日:2019-01-04