- 专利标题: 基于压电效应和压阻效应多模态耦合的微型电场传感器件
- 专利标题(英): Multi-mode coupling miniature electric field sensing device based on piezoelectric effect and piezoresistive effect
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申请号: CN201811243886.7申请日: 2018-10-24
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公开(公告)号: CN109212326A公开(公告)日: 2019-01-15
- 发明人: 何金良 , 胡军 , 韩志飞 , 薛芬 , 王善祥 , 张波 , 曾嵘
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市海淀区清华园一号
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华园一号
- 代理机构: 天津市尚仪知识产权代理事务所
- 代理商 高正方
- 主分类号: G01R29/08
- IPC分类号: G01R29/08
摘要:
一种基于压电效应和压阻效应多模态耦合的微型电场传感器件,包括沿水平方向放置的半导体薄膜,所述半导体薄膜的下方设有水平方向放置的衬底,所述半导体薄膜与衬底之间通过中间夹层支撑形成腔体结构,所述半导体薄膜的上表面均设有压阻材料,所述压阻材料包括横向-横向模态的压电膜、横向-纵向模态的压电块,横向-横向模态中,所述半导体薄膜的顶面设有压电膜;横向-纵向模态中,所述半导体薄膜的底面设有压电块。其有益效果是:体积小、集成程度高,有效降低电路温漂、降低零点漂移、提升测量精度,可实现宽频带、高场强及复杂环境下的电场准确测量,在带电情况下也可进行。
公开/授权文献
- CN109212326B 基于压电效应和压阻效应多模态耦合的微型电场传感器件 公开/授权日:2020-10-02