• 专利标题: 基于压电效应和压阻效应多模态耦合的微型电场传感器件
  • 专利标题(英): Multi-mode coupling miniature electric field sensing device based on piezoelectric effect and piezoresistive effect
  • 申请号: CN201811243886.7
    申请日: 2018-10-24
  • 公开(公告)号: CN109212326A
    公开(公告)日: 2019-01-15
  • 发明人: 何金良胡军韩志飞薛芬王善祥张波曾嵘
  • 申请人: 清华大学
  • 申请人地址: 北京市海淀区清华园一号
  • 专利权人: 清华大学
  • 当前专利权人: 清华大学
  • 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华园一号
  • 代理机构: 天津市尚仪知识产权代理事务所
  • 代理商 高正方
  • 主分类号: G01R29/08
  • IPC分类号: G01R29/08
基于压电效应和压阻效应多模态耦合的微型电场传感器件
摘要:
一种基于压电效应和压阻效应多模态耦合的微型电场传感器件,包括沿水平方向放置的半导体薄膜,所述半导体薄膜的下方设有水平方向放置的衬底,所述半导体薄膜与衬底之间通过中间夹层支撑形成腔体结构,所述半导体薄膜的上表面均设有压阻材料,所述压阻材料包括横向-横向模态的压电膜、横向-纵向模态的压电块,横向-横向模态中,所述半导体薄膜的顶面设有压电膜;横向-纵向模态中,所述半导体薄膜的底面设有压电块。其有益效果是:体积小、集成程度高,有效降低电路温漂、降低零点漂移、提升测量精度,可实现宽频带、高场强及复杂环境下的电场准确测量,在带电情况下也可进行。
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