Invention Publication
CN109216434A 半导体器件以及制造半导体器件的方法
无效 - 驳回
- Patent Title: 半导体器件以及制造半导体器件的方法
- Patent Title (English): SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SEMICONDUCTOR DEVICE
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Application No.: CN201710540831.1Application Date: 2017-07-05
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Publication No.: CN109216434APublication Date: 2019-01-15
- Inventor: 鹿内洋志 , 鹫谷哲 , 大野阳平 , 保立伦则 , 熊仓弘道
- Applicant: 三垦电气株式会社
- Applicant Address: 日本埼玉县
- Assignee: 三垦电气株式会社
- Current Assignee: 三垦电气株式会社
- Current Assignee Address: 日本埼玉县
- Agency: 北京三友知识产权代理有限公司
- Agent 李辉
- Priority: 15/638,515 2017.06.30 US
- Main IPC: H01L29/06
- IPC: H01L29/06 ; H01L29/16 ; H01L21/02

Abstract:
一种半导体器件以及制造半导体器件的方法。所述半导体器件包括碳化硅基板以及保护膜,所述保护膜至少部分地覆盖所述碳化硅基板的主表面以及一个或多个侧壁。因此,可以避免该碳化硅基板的表面与吸水性材料的接触,且半导体器件的耐压表现和长期可靠性会得到进一步的提升。
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IPC分类: