半导体器件以及制造半导体器件的方法
Abstract:
一种半导体器件以及制造半导体器件的方法。所述半导体器件包括碳化硅基板以及保护膜,所述保护膜至少部分地覆盖所述碳化硅基板的主表面以及一个或多个侧壁。因此,可以避免该碳化硅基板的表面与吸水性材料的接触,且半导体器件的耐压表现和长期可靠性会得到进一步的提升。
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