发明授权
- 专利标题: 一种高寿命铜钼蚀刻液及蚀刻方法
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申请号: CN201811015118.6申请日: 2018-08-31
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公开(公告)号: CN109234736B公开(公告)日: 2020-08-11
- 发明人: 赵芬利
- 申请人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人: 深圳市华星光电技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
- 代理机构: 深圳翼盛智成知识产权事务所
- 代理商 黄威
- 主分类号: C23F1/44
- IPC分类号: C23F1/44 ; C23F1/18 ; C23F1/26
摘要:
本发明提供一种高寿命铜钼蚀刻液,包括:蚀刻液母液以及蚀刻液子液;所述蚀刻液母液的主要成分包括过氧化氢、调节剂、稳定剂、有机酸、抑制剂以及pH调节剂,余量为去离子水;所述蚀刻液子液的主要成分包括溶解剂、所述有机酸、所述抑制剂以及所述稳定剂;本发明还提供一种用于铜钼金属膜层的蚀刻方法。有益效果:本发明所提供的高寿命铜钼蚀刻液及蚀刻方法,通过向一定铜离子浓度的蚀刻溶液中加入溶解剂、有机酸、抑制剂以及稳定剂的组合物,进一步延长了蚀刻液的使用寿命,更进一步提高了蚀刻品质的稳定性。
公开/授权文献
- CN109234736A 一种高寿命铜钼蚀刻液及蚀刻方法 公开/授权日:2019-01-18
IPC分类: