发明授权
- 专利标题： 致动传感模块
-
申请号： CN201710557671.1申请日： 2017-07-10
-
公开(公告)号： CN109238325B公开(公告)日： 2023-10-03
- 发明人: 莫皓然 , 薛达伟 , 张英伦 , 余荣侯 , 张正明 , 戴贤忠 , 廖文雄 , 韩永隆 , 黄启峰
- 申请人： 研能科技股份有限公司
- 申请人地址： 中国台湾新竹市科学园区研发二路28号1楼
- 专利权人： 研能科技股份有限公司
- 当前专利权人： 研能科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾新竹市科学园区研发二路28号1楼
- 代理机构： 隆天知识产权代理有限公司
- 代理商 聂慧荃; 郑特强
- 主分类号： G01D11/00
- IPC分类号： G01D11/00 ; F04B45/047
摘要：
一种致动传感模块，包含基板、至少一个传感器以及至少一个致动装置，传感器安装于基板上；致动装置安装于基板上，并与基板之间设置至少一通道，且通道位于传感器之一侧，致动装置受驱动而致动压缩传输一流体由通道流出，并通过传感器，以令传感器量测所接收之流体。
公开/授权文献
- CN109238325A 致动传感模块 公开/授权日：2019-01-18