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公开(公告)号：CN113492592B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202010201564.7
申请日：2020-03-20
申请人： 研能科技股份有限公司
IPC分类号： B41J2/14 , H01L21/027
摘要： 一种狭长型喷墨头芯片的制造方法，包含以下步骤：S1.准备硅基板；S2.使用第一类型光罩于至少二个高精度区布设主动元件层；S3.使用第二类型光罩于主动元件层上布设被动元件层；以及S4.对硅基板进行切割，以产生多个狭长型喷墨头芯片。
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公开(公告)号：CN111271267B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN201811477896.7
申请日：2018-12-05
申请人： 研能科技股份有限公司
摘要： 一种微机电泵模块，包含：一微处理器，发出一控制信号；一微机电芯片，电连接该微处理器，该微机电芯片包含：一芯片本体，为一长方形态样，具有一短边；多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；多个连接电极，设置于该芯片本体且邻近该短边，该多个连接电极分别电连接该多个微机电泵的该第一电极；以及至少一共电极，设置于该芯片本体且邻近该短边，该至少一共电极电连接该多个微机电泵的该第二电极；其中，该微处理器分别电连接该多个连接电极及该至少一共电极，以传输该控制信号至该多个微机电泵。
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公开(公告)号：CN111271265B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN201811477867.0
申请日：2018-12-05
申请人： 研能科技股份有限公司
摘要： 一种微机电泵模块，包含：一微处理器，输出一定电压及一变电压；一微机电芯片，电连接该微处理器，该微机电芯片包含有：一芯片本体；多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；以及至少一共电极，设置于该芯片本体且电连接该多个微机电泵的该第二电极；其中，该微处理器分别电连接该多个微机电泵的该第一电极及该至少一共电极，以传输该定电压至该至少一共电极以及传输该变电压至该多个微机电泵的该第一电极。
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公开(公告)号：CN111472962B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201910067160.0
申请日：2019-01-24
申请人： 研能科技股份有限公司
摘要： 一种微机电泵模块，包含微机电芯片、至少一信号电极、多个微机电泵以及多个开关单元。微机电芯片具有芯片本体。至少一信号电极设置于芯片本体。多个微机电泵皆具有第一电极与第二电极，第二电极电连接至少一信号电极。多个开关单元电连接多个微机电泵的第一电极。其中，至少一信号电极接收调变电压至多个微机电泵的第二电极，多个开关单元用以控制多个微机电泵启闭作动。
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公开(公告)号：CN112466865A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201910841213.X
申请日：2019-09-06
申请人： 研能科技股份有限公司
摘要： 本发明提出一种重置芯片单元，连接于打印机的墨水匣，其包含重置封装软板、重置芯片、电性连接元件、辨识电性第一接触焊垫、辨识电性第二接触焊垫、第一导接线以及第二导接线。重置芯片封装设置于重置封装软板。辨识电性第一接触焊垫与打印机电性连接。电性连接元件电性连接于第一重置电极焊垫以及第二重置电极焊垫之间。辨识电性第二接触焊垫与墨水匣的识别电路单元电性连接。其中，电性连接元件控制识别电路单元所提供的辨识信号无法有效被打印机读取，由该重置芯片所传输辨识信号传输至打印机，并且被打印机读取。
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公开(公告)号：CN111472963A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201910067180.8
申请日：2019-01-24
申请人： 研能科技股份有限公司
摘要： 一种微机电泵模块，包含微机电芯片、多个微机电泵、多个开关单元以及多个控制电极。微机电芯片具有芯片本体，芯片本体是具有一长边的长方形。至少一信号电极设置于芯片本体并邻近长边。多个微机电泵皆具有第一电极与第二电极，第二电极电连接至少一信号电极。多个开关单元电连接多个微机电泵的第一电极。多个控制电极设置于芯片本体并邻近长边且分别电连接多个开关单元。至少一信号电极接收调变电压以传输至多个微机电泵的第二电极，多个开关单元用以控制多个微机电泵启闭作动。
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公开(公告)号：CN111434603A
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：CN201910034831.3
申请日：2019-01-15
申请人： 研能科技股份有限公司
摘要： 一种微流体致动器，包含：一基板，具有多个第一出流孔洞以及多个第二出流孔洞；一腔体层，具有一储流腔室；一振动层；一第一金属层；一压电致动层；一第二金属层，具有一上电极焊垫以及一下电极焊垫；一入口层；一共振层；以及一阵列孔片；提供具有不同相位电荷的驱动电源至上电极焊垫以及下电极焊垫，以驱动并控制振动层产生上下位移，使流体自入口层吸入，汇流至储流腔室，最后受挤压经由多个第一出流孔洞以及多个第二出流孔洞并推开阵列孔片后排出以完成流体传输。
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公开(公告)号：CN111151311A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201811318747.6
申请日：2018-11-07
申请人： 研能科技股份有限公司
IPC分类号： B01L3/00
摘要： 一种微流道结构的制造方法，包含：1)提供一基板；2)沉积及蚀刻一第一绝缘层；3)沉积及蚀刻一支撑层；4)沉积及蚀刻一阀层；5)沉积及蚀刻一第二绝缘层；6)沉积及蚀刻一振动层、一下电极层以及一压电致动层；7)提供一光阻层沉积蚀刻多个焊垫；8)沉积及蚀刻一遮罩层；9)蚀刻一第一腔室；以及10)蚀刻一第二腔室。
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公开(公告)号：CN110905786A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201811080197.9
申请日：2018-09-17
申请人： 研能科技股份有限公司
IPC分类号： F04B45/047 , F04B39/00
摘要： 一种微机电泵的制造方法，包含以下步骤：(a)提供第一基板，将第一基板薄化至第一厚度且第一基板蚀刻出至少一进气孔；(b)提供第二基板，将第二基板薄化至第二厚度，于第二基板设置相对的第一氧化层及第二氧化层，并于第二基板上蚀刻出穿孔；(c)将第二基板结合至第一基板，且第一氧化层位于第一基板与第二基板之间，进气孔与穿孔错位；(d)提供第三基板，将第三基板薄化至第三厚度并蚀刻出至少一气体通道；(e)于第三基板设置压电组件；(f)以及将第三基板结合至第二基板，且第二氧化层位于第二基板与第三基板之间，气体通道与穿孔错位。
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公开(公告)号：CN109590032A
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201710914039.8
申请日：2017-09-30
申请人： 研能科技股份有限公司
IPC分类号： B01L3/00
摘要： 本案提供一种流体装置的控制方法，包括以下步骤：(a)提供微机电系统一体制出流体装置，是以微机电系统制出多个导流单元连接成一体的流体装置(b)多个导流单元划分群组分区布置控制，将多个导流单元区分成多个组导流群组与控制模块电性连接，并以相邻导流单元不同时作动的分区控制(c)控制模块依分区群组提供驱动信号，控制模块发送高电位信号至多个组导流群组的特定该导流群组作分区控制，使特定导流群组中导流单元实施流体传输，以达到特定流体输出需求量的控制。
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