本发明的基板处理方法，进行基板的图案形成面的干燥处理，其特征在于，所述基板处理方法包括：供给工序，向所述基板的图案形成面供给含有升华性物质的处理液；温度调节工序，通过调节所述基板的温度，将供给至该基板的图案形成面的所述处理液控制在所述升华性物质的熔点以上且小于沸点的温度范围内；凝固工序，使温度调节后的所述处理液在所述图案形成面上凝固而形成凝固体；以及升华工序，使所述凝固体升华而从所述图案形成面除去，所述温度调节工序与所述供给工序至少一部分重叠进行，并且，所述温度调节工序至少在所述凝固工序开始前结束。