发明授权
- 专利标题: 一种微振动传感器及其制备方法
-
申请号: CN201811326680.0申请日: 2018-11-08
-
公开(公告)号: CN109341843B公开(公告)日: 2020-03-06
- 发明人: 韩志武 , 王可军 , 宋洪烈 , 张俊秋 , 陈道兵 , 刘林鹏 , 张斌杰 , 孙涛 , 王大凯 , 张昌超
- 申请人: 吉林大学
- 申请人地址: 吉林省长春市南关区人民大街
- 专利权人: 吉林大学
- 当前专利权人: 吉林大学
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市南关区人民大街
- 代理机构: 深圳市君胜知识产权代理事务所
- 代理商 王永文; 朱阳波
- 主分类号: G01H11/08
- IPC分类号: G01H11/08
摘要:
本发明公开了一种微振动传感器及其制备方法,所述方法包括以下步骤:在金属片上涂覆第一固化材料,并将第一固化材料固化成第一固化层;将压电薄膜元件贴在第一固化层的边缘;将第一固化层贴有压电薄膜元件的一边竖直放入第二固化材料中,并将第二固化材料固化第二固化层;去除金属片,得到微振动传感器。由于将压电薄膜元件设置在裂纹尖端处,并利用微振动时,裂纹受力变形导致裂纹尖端应力场内应力急剧放大,将应力信号高效的转化为电信号,具有检测限低,精确度高的特点。
公开/授权文献
- CN109341843A 一种微振动传感器及其制备方法 公开/授权日:2019-02-15