一种微振动传感器及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种微振动传感器及其制备方法,所述方法包括以下步骤:在金属片上涂覆第一固化材料,并将第一固化材料固化成第一固化层;将压电薄膜元件贴在第一固化层的边缘;将第一固化层贴有压电薄膜元件的一边竖直放入第二固化材料中,并将第二固化材料固化第二固化层;去除金属片,得到微振动传感器。由于将压电薄膜元件设置在裂纹尖端处,并利用微振动时,裂纹受力变形导致裂纹尖端应力场内应力急剧放大,将应力信号高效的转化为电信号,具有检测限低,精确度高的特点。
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