本发明涉及一种太阳能热发电用光学设备反射面面形检测系统及方法，包括图像采集系统、动态编码标志物和控制服务器，被测太阳能热发电用光学设备的反射面通过安装机构进行固定，图像采集系统由多台图像采集器组成，通过支架固定并调整至合适的视场范围，控制服务器通过线缆控制图像采集系统进行采集，采集图像发送至控制服务器进行计算，控制服务器通过线缆控制动态编码标志物不同区域点光源的独立发光，供图像采集系统进行采集。本发明使用基于可编程点光源阵列的动态编码设备作为检测用标志物，平面度对面形检测精度的影响较小，解算时动态编码标志物各个区域相对独立，所以整体亮度均匀性不会对面形检测产生影响。