发明公开
- 专利标题: CMOS-TDI图像传感器及其形成方法
- 专利标题(英): CMOS-TDI image sensor and formation method thereof
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申请号: CN201811288617.2申请日: 2018-10-31
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公开(公告)号: CN109411499A公开(公告)日: 2019-03-01
- 发明人: 王林 , 黄金德
- 申请人: 昆山锐芯微电子有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市昆山市开发区伟业路18号现代广场A座508-511室
- 专利权人: 昆山锐芯微电子有限公司
- 当前专利权人: 北京诚博锐芯科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市昆山市开发区伟业路18号现代广场A座508-511室
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 徐文欣; 吴敏
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146
摘要:
一种CMOS-TDI图像传感器及其形成方法,其中,CMOS-TDI图像传感器包括:基底,所述基底包括相邻的第一区和第二区,所述第一区和第二区基底内具有第一离子;位于所述第一区基底内的第一沟道,所述第一沟道内具有第二离子,所述第二离子与第一离子的导电类型相反;位于所述第一沟道表面的第一栅极结构;位于所述第二区基底表面的第二栅极结构。所述CMOS-TDI图像传感器的电荷读出效率较高,且暗电流较小。
公开/授权文献
- CN109411499B CMOS-TDI图像传感器及其形成方法 公开/授权日:2021-01-22
IPC分类: