CMOS-TDI图像传感器及其形成方法
摘要:
一种CMOS-TDI图像传感器及其形成方法,其中,CMOS-TDI图像传感器包括:基底,所述基底包括相邻的第一区和第二区,所述第一区和第二区基底内具有第一离子;位于所述第一区基底内的第一沟道,所述第一沟道内具有第二离子,所述第二离子与第一离子的导电类型相反;位于所述第一沟道表面的第一栅极结构;位于所述第二区基底表面的第二栅极结构。所述CMOS-TDI图像传感器的电荷读出效率较高,且暗电流较小。
公开/授权文献
0/0