测量方法、程序、测量装置和制造物品的方法
Abstract:
公开了测量方法、程序、测量装置和制造物品的方法。根据本发明的方面,测量方法测量物体的位置和姿势。该方法包括:第一计算步骤,处理作为第一处理对象的通过对物体成像而获得的第一图像;和第二计算步骤,通过基于第一计算步骤的结果处理作为第二处理对象的图像中的多个构成元件来确定物体的位置和姿势。第二处理对象与第一处理对象相关联。
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