Invention Grant
CN109459148B 基于超表面FBAR谐振频率温漂特性的偏振红外传感器
失效 - 权利终止
- Patent Title: 基于超表面FBAR谐振频率温漂特性的偏振红外传感器
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Application No.: CN201811341023.3Application Date: 2018-11-12
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Publication No.: CN109459148BPublication Date: 2020-09-08
- Inventor: 陶金 , 梁中翥 , 孟德佳 , 梁静秋 , 秦余欣 , 吕金光 , 史晓燕 , 秦正
- Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- Applicant Address: 吉林省长春市东南湖大路3888号
- Assignee: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- Current Assignee: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- Current Assignee Address: 吉林省长春市东南湖大路3888号
- Agency: 长春众邦菁华知识产权代理有限公司
- Agent 王丹阳
- Main IPC: G01J5/58
- IPC: G01J5/58 ; G01J5/02
Abstract:
基于超表面FBAR谐振频率温漂特性的偏振红外传感器涉及红外传感技术领域,解决了现有技术中吸收率较低和红外偏振传感器结构和性能均需要提高的问题,包括依次连接的读出集成电路衬底、薄膜体声波谐振器、金属反射层、介质层和金属阵列层,金属阵列层由复数个特性方向一致的金属单元组成。本发明非制冷红外传感器利用金属反射层、介质层和金属阵列层实现对红外光谱的增强吸收,吸收的能量作用于薄膜体声波谐振器上,将非制冷红外传感器的吸收率大幅提高,通过金属阵列层实现偏振光吸收,在结构和性能上对红外偏振传感器进行优化;通过集成方式连接,体积重量小且成本低廉;有传统非制冷红外传感的优点,同时响应快速、传感灵敏度高。
Public/Granted literature
- CN109459148A 基于超表面FBAR谐振频率温漂特性的偏振红外传感器 Public/Granted day:2019-03-12
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