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公开(公告)号：CN109470367B
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201811341900.7
申请日：2018-11-12
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 一种基于FBAR的宽波段非制冷红外探测器的制备方法涉及红外探测技术领域，解决了制备方法所得红外探测器吸收率较低和宽波段吸收带宽受限的问题，包括制备FBAR；FBAR上依次制备介质层和金属阵列层；制备读出集成电路衬底；连接读出集成电路衬底和FBAR；金属阵列层包括复数个金属单元，每个金属单元由至少三种不同尺寸的金属块组成。本发明的制备方法具有集成制造、批量生产、成本低廉等优势；通过在FBAR表面集成介质层和金属阵列层，实现非制冷红外探测器对红外光谱的增强吸收，同时实现宽波段吸收，制作简单且红外探测器探测性能优良；制得的探测器既有传统非制冷红外探测的优点，同时响应快速、探测灵敏度高。
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公开(公告)号：CN108106731B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201711380882.9
申请日：2017-12-20
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 基于阶梯相位反射镜的快照成像光谱仪及制作方法，涉及红外成像光谱探测仪器技术领域，解决传统成像光谱仪中三维数据立方体的实时获取以及成像光谱仪器的微小型化问题，包括准直镜、微成像镜阵列、分束器、横向阶梯相位反射镜、纵向阶梯相位反射镜、中继成像镜和面阵探测器。利用微成像镜阵列对目标场景进行多重成像，并利用阶梯相位反射镜对多重像场进行分布式相位调制的成像光谱仪器，通过微成像镜阵列形成的并行成像通道与阶梯相位反射镜形成的并行干涉通道之间的光场耦合，实现对目标场景的多通道快照式干涉成像，无需复杂的运动机构，具有微小型、静态化、稳定性强、集成度高、探测速度快等优点。
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公开(公告)号：CN108180993B
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201711380876.3
申请日：2017-12-20
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 红外偏振干涉成像光谱仪及制作方法，涉及红外光谱探测与红外光谱分析技术领域，解决现有传统时间调制傅里叶变换红外光谱仪由于采用高精度的动镜驱动机构带来的体积大、重量沉等问题，同时存在空间调制傅里叶变换红外光谱仪由于采用制冷型红外面阵探测器带来的价格昂贵等问题，由光源、准直镜、分束器、平面反射镜、阵列相位反射镜、光开关阵列、聚焦镜和点探测器组成。本发明利用阵列相位反射镜对入射光场进行分布式相位调制，并利用光开关阵列对出射的干涉光场阵列进行振幅调制以实现分步式选通和探测的光谱仪器。本发明可以使用点探测器进行探测，不仅进一步减小体积和重量，而且大大降低了成本。
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公开(公告)号：CN108168704B
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201711380877.8
申请日：2017-12-20
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 基于双周期阶梯相位反射镜的红外偏振干涉成像光谱仪,涉及红外偏振成像光谱测量仪器技术领域，解决现有目标场景中偏振信息、图像信息和光谱信息的同时获取以及偏振成像光谱仪器的微小型化与集成化问题，包括准直镜、四通道偏振器、四通道成像镜、分束器、平面反射镜、双周期阶梯相位反射镜、中继成像镜和面阵探测器，本发明通过四通道偏振器、四通道成像镜与双周期阶梯相位反射镜之间的光场耦合实现对像场偏振与干涉的调制，从而获取目标场景的四通道偏振干涉图像，通过一次扫描即可获取目标场景的偏振、图像和光谱信息，具有微小型、轻量化、结构简单、集成度高、测量速度快、信息量多等优点。
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公开(公告)号：CN110118605A
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201910462301.9
申请日：2019-05-30
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G01J5/20
摘要： 一种谐振型宽光谱非制冷红外探测器及其制备方法涉及红外探测与成像技术领域，解决了对红外辐射吸收率低、光谱响应带宽窄和制备困难的问题，探测器包括由下至上依次设置的集成读出电路衬底层、热绝缘微桥、热敏电阻传感层、钝化绝缘层、金属反射层和由吸收单元组成的阵列层；热敏电阻传感层通过热绝缘微桥电连接集成读出电路衬底层；金属反射层的厚度值大于红外辐射在其内的趋肤深度值；吸收单元包括N个谐振机构，N为≥2的整数，谐振机构包括谐振单元，谐振单元由金属层和介质层组成，金属层位于介质层的上表面上，谐振机构之间金属层的尺寸互不相同。本发明通过金属反射层和阵列层实现对红外辐射吸收率高，具有宽的光谱响应带宽。
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公开(公告)号：CN109813449A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201910101141.5
申请日：2019-01-31
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G01J5/20
摘要： 一种集成偏振非制冷红外探测器及制作方法涉及红外偏振探测与成像技术领域，解决了由于偏振片与成像单元间的对准偏差所产生的成像误差的问题。探测器的焦平面由2*2像元构成的超像元阵列组成，每个像元的狭缝方向从0度开始，以45度为变化量逐一增加或者递减，该焦平面的像元由下至上依次包括：读出电路为具备放大和降低噪声功能的硅基或者锗基CMOS集成电路，在CMOS集成电路设置读出电极对；绝热微桥包括微桥面、两个微支撑结构和两个微悬臂梁；热敏电阻层为温度电阻系数的绝对值高于2％的材料；读出电极通过通孔与热敏电阻层连接；钝化绝缘层保护热敏电阻层；宽带吸收膜层包括金属层、介质层和金属微阵列，本发明工艺简单，有利于大规模低成本制备。
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公开(公告)号：CN109470367A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201811341900.7
申请日：2018-11-12
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 一种基于FBAR的宽波段非制冷红外探测器的制备方法涉及红外探测技术领域，解决了制备方法所得红外探测器吸收率较低和宽波段吸收带宽受限的问题，包括制备FBAR；FBAR上依次制备介质层和金属阵列层；制备读出集成电路衬底；连接读出集成电路衬底和FBAR；金属阵列层包括复数个金属单元，每个金属单元由至少三种不同尺寸的金属块组成。本发明的制备方法具有集成制造、批量生产、成本低廉等优势；通过在FBAR表面集成介质层和金属阵列层，实现非制冷红外探测器对红外光谱的增强吸收，同时实现宽波段吸收，制作简单且红外探测器探测性能优良；制得的探测器既有传统非制冷红外探测的优点，同时响应快速、探测灵敏度高。
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公开(公告)号：CN109459146A
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201811341907.9
申请日：2018-11-12
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G01J5/10
摘要： 一种基于压电谐振器的非制冷红外探测器的制备方法涉及红外探测技术领域，解决了制备方法所得红外探测器吸收率较低的问题，包括制备压电谐振器；压电谐振器上依次制备金属反射层、介质层和金属阵列层；制备读出集成电路衬底；连接读出集成电路衬底和压电谐振器。本发明的制备方法具有集成制造、批量生产、成本低廉等优势；通过在压电谐振器表面集成金属反射层、介质层和金属阵列层，利用金属阵列层实现对红外光谱的增强吸收，吸收能量作用于压电谐振器上，将吸收率提高到80％以上，同时增加了非制冷红外探测器对入射频谱的选择性。该方法所制得的非制冷红外探测器既有传统非制冷红外探测的优点，同时响应快速、探测灵敏度高。
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公开(公告)号：CN109253743A
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201811340279.2
申请日：2018-11-12
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 等离激元声波谐振双波段红外传感器涉及红外传感技术领域，解决了现有技术中吸收率较低和双波段吸收增加吸收层厚度的问题，包括依次连接的读出集成电路衬底、薄膜体声波谐振器、介质层和金属阵列层，金属阵列层包括复数个金属单元，每个金属单元由两种不同尺寸的金属块组成。本发明非制冷红外传感器通过在薄膜体声波谐振器表面集成介质层和金属阵列层，实现非制冷红外传感器对红外光谱的增强吸收，吸收率从20％提高到80％以上，同时通过金属块尺寸变换实现双波段，不增加吸收层厚度且红外传感器传感性能优良；通过集成方式制造，可批量生产，且成本低廉；既有传统非制冷红外传感的优点，同时响应快速、传感灵敏度高。
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公开(公告)号：CN108120505A
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201711380878.2
申请日：2017-12-20
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 基于阶梯相位反射镜与光开关阵列的红外干涉光谱仪，涉及红外光谱探测与红外光谱分析技术领域，解决传统时间调制傅里叶变换红外光谱仪由于采用高精度的动镜驱动系统带来的体积大、重量沉等问题，并存在空间调制傅里叶变换红外光谱仪由于采用制冷型红外面阵探测器带来的成本高等问题，由光源、准直镜、分束器、横向阶梯相位反射镜、纵向阶梯相位反射镜、光开关阵列、聚焦镜和点探测器组成。本发明利用两个阶梯相位反射镜分别对被分束器分开的两个正交的相干光场进行分布式相位调制，并利用光开关阵列与点探测器对干涉光场进行振幅调制实现分步式选通和探测的光谱仪。本发明降低了成本，具有微小型化、轻量化、低成本、便携性好等优点。
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