本发明公开了一种PERC电池背面钝化结构及其制备方法。一种PERC电池背面钝化结构，包括硅基底，还包括依次层叠的氧化硅钝化膜层、氧化铝钝化膜层及氮化硅钝化膜层，所述氧化硅钝化膜层形成于所述硅基底上，所述氧化铝钝化膜层形成于所述氧化硅钝化膜层上，所述氮化硅钝化膜层形成于所述氧化铝钝化膜层上。该背面钝化结构有助于减少硅基底表面态密度，具有较低的内反射，同时氧化铝保持良好的钝化效果，提升电池开路电压和短路电流，进而提升电池转换效率。