一种高密度无损读取的铁电畴壁存储器
摘要:
本发明公开了一种高密度无损读取的铁电畴壁存储器。该纳米铁电畴壁存储器,由下至上依次包括:单晶基底层、底电极层和铁电材料层;所述铁电材料层由若干个等间距排列的方块组成。通过控制不同的生长条件获得边长600纳米以下的方形铁电单元,工艺简单有效,避免了成本很高且工艺复杂的光刻和刻蚀对材料性能造成的损伤。本发明制备的铁电畴壁器件单元利用形状几何边界条件对铁电畴壁形成拓扑保护,从而实现电压控制的高开关比、稳定、可重复擦写的非易失性导电畴壁。本发明有效利用了铁电畴壁尺寸小,控制电压低的特点实现高密度、低功耗的铁电畴壁为单元的信息存储。
公开/授权文献
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L27/00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件(其零部件入H01L23/00,H01L29/00至H01L51/00;由多个单个固态器件组成的组装件入H01L25/00)
H01L27/02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27/04 ..其衬底为半导体的
H01L27/10 ...在重复结构中包括有多个独立组件的
H01L27/105 ....包含场效应组件的
H01L27/112 .....只读存储器结构的
H01L27/115 ...... · · · · ·电动编程只读存储器;其多步骤制造方法
H01L27/11502 ....... · · · · · · 具有铁电体存储器电容器的
H01L27/11507 ........ · · · · · · ·以存储器核心区为特征的
0/0