发明授权
- 专利标题: 一种高密度无损读取的铁电畴壁存储器
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申请号: CN201810585371.9申请日: 2018-06-08
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公开(公告)号: CN109509753B公开(公告)日: 2020-11-03
- 发明人: 马静 , 马吉 , 南策文 , 刘晨 , 王静 , 陈明凤
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市海淀区北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室
- 代理机构: 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理商 关畅
- 主分类号: H01L27/11507
- IPC分类号: H01L27/11507 ; G11C11/22
摘要:
本发明公开了一种高密度无损读取的铁电畴壁存储器。该纳米铁电畴壁存储器,由下至上依次包括:单晶基底层、底电极层和铁电材料层;所述铁电材料层由若干个等间距排列的方块组成。通过控制不同的生长条件获得边长600纳米以下的方形铁电单元,工艺简单有效,避免了成本很高且工艺复杂的光刻和刻蚀对材料性能造成的损伤。本发明制备的铁电畴壁器件单元利用形状几何边界条件对铁电畴壁形成拓扑保护,从而实现电压控制的高开关比、稳定、可重复擦写的非易失性导电畴壁。本发明有效利用了铁电畴壁尺寸小,控制电压低的特点实现高密度、低功耗的铁电畴壁为单元的信息存储。
公开/授权文献
- CN109509753A 一种高密度无损读取的铁电畴壁存储器 公开/授权日:2019-03-22
IPC分类: