发明授权
- 专利标题: 电磁波屏蔽膜及其制备方法
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申请号: CN201811320751.6申请日: 2018-11-07
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公开(公告)号: CN109526193B公开(公告)日: 2020-07-28
- 发明人: 由龙 , 赵伟业 , 林翠盈 , 顾婧文
- 申请人: 深圳科诺桥科技股份有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市大鹏新区葵涌街道葵新社区银葵路16号A栋101
- 专利权人: 深圳科诺桥科技股份有限公司
- 当前专利权人: 深圳科诺桥科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市大鹏新区葵涌街道葵新社区银葵路16号A栋101
- 代理机构: 深圳中一联合知识产权代理有限公司
- 代理商 张全文
- 主分类号: H05K9/00
- IPC分类号: H05K9/00 ; C23C14/34 ; C23C14/16 ; C23C14/20
摘要:
本发明属于电子技术领域,尤其涉及一种电磁波屏蔽膜的制备方法,包括:获取载体层,在所述载体层的一表面制备保护层;在所述载体层远离所述保护层的表面真空溅射形成金属叠层,其中,所述金属叠层包括依次层叠设置在所述载体层远离所述保护层的表面的第一金属保护层、金属功能层和第二金属保护层。本发明实施例提供的电磁波屏蔽膜的制备方法,采用涂覆方法在载体层一侧形成保护层,再采用真空溅射方法在载体层的另一侧形成金属叠层,真空溅射可以通过控制溅射时间、速度控制膜层厚度,实现形成金属叠层薄膜,减少生产原料的使用。且真空溅射形成的金属叠层,成膜速度快,膜层均匀,稳定性好,膜层不易脱落,制备工艺简单。
公开/授权文献
- CN109526193A 电磁波屏蔽膜及其制备方法 公开/授权日:2019-03-26