Invention Publication

一种抗冲击的摆式加速度计
Abstract:
本发明公开一种摆式加速度计,包括硅整体摆,所述硅整体摆包括动片(3)、定片(1)和连接两部分的挠性支承梁(2),还包括靠近摆质量处,沿输出轴方向设置的第一组限位结构(4),和在所述硅整体摆之外,靠近摆质量的质心处,沿输入轴方向设置的第二组限位结构(6)。通过在硅整体摆上设置多组限制挠性支承梁(2)变形的限位结构,可使加速度计在受到输入轴、输出轴等方向的大冲击时,挠性支承梁(2)的最大变形均能受到限制,保护挠性支承梁(2)不会断裂失效,从而提升加速度计的抗冲击能力。且挠性支承梁(2)在限位结构的保护下,厚度可达到10微米以下,从而使加速度计在具有抗600g冲击能力的同时实现高精度。
Patent Agency Ranking
0/0