Invention Publication
CN109570148A 直连空压机的激光清洗一体机
无效 - 驳回
- Patent Title: 直连空压机的激光清洗一体机
-
Application No.: CN201811328627.4Application Date: 2018-11-08
-
Publication No.: CN109570148APublication Date: 2019-04-05
- Inventor: 王奕博 , 林学春 , 张志研 , 梁浩 , 刘燕楠 , 赵树森
- Applicant: 中国科学院半导体研究所
- Applicant Address: 北京市海淀区清华东路甲35号
- Assignee: 中国科学院半导体研究所
- Current Assignee: 中国科学院半导体研究所
- Current Assignee Address: 北京市海淀区清华东路甲35号
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 李坤
- Main IPC: B08B7/00
- IPC: B08B7/00

Abstract:
本公开提供了一种直连空压机的激光清洗一体机,所述激光清洗一体机与所述空压机相连,所述激光清洗一体机包括:气体干燥过滤系统,内置于所述激光清洗一体机机柜,将空压机输出的气体进行干燥、过滤后分为两路气体;第一路气体进入准连续激光器,用于谐振腔内的除湿干燥;第二路气体进入清洗头,用于保护清洗头前端的保护镜,吹除清洗目标物产生的粉尘,避免灰尘污染保护镜。本公开内置的气体干燥过滤系统,能够直接过滤空压机吹出气体中的粉尘、油污等杂质,使空压机能够直连激光清洗一体机,将输出的空气分为两路,一路用于谐振腔内的除湿干燥,另一路用于保护清洗头,两路气体的作用相互配合,利于激光清洗一体机的长期稳定运转。
Information query