发明公开
- 专利标题: 一种低漏电流的YDMCO薄膜及其制备方法
- 专利标题(英): Low leakage current YDMCO thin film and preparation method thereof
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申请号: CN201811496649.1申请日: 2018-12-07
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公开(公告)号: CN109576681A公开(公告)日: 2019-04-05
- 发明人: 谈国强 , 任茜茜 , 刘云 , 薛敏涛 , 任慧君 , 夏傲
- 申请人: 陕西科技大学
- 申请人地址: 陕西省西安市未央区大学园1号
- 专利权人: 陕西科技大学
- 当前专利权人: 北京知产汇科技有限公司
- 当前专利权人地址: 102400 北京市房山区天星街1号院10号楼8层810
- 代理机构: 西安通大专利代理有限责任公司
- 代理商 徐文权
- 主分类号: C23C18/12
- IPC分类号: C23C18/12
摘要:
本发明提供一种低漏电流的YDMCO薄膜及其制备方法,化学式为Y1-xDyxMn0.5Cr0.5O3,其中,0.1≤x≤0.5,六方结构,空间群为P63cm。本发明的Y1-xDyxMn0.5Cr0.5O3薄膜是在YMnO3的A位掺杂稀土离子,B位掺杂过渡金属离子,实验证明Dy掺杂进入双棱锥结构的中间层和Cr掺杂抑制了Mn3+转变成Mn2+和Mn4+,最终使Y1-xDyxMn0.5Cr0.5O3薄膜内部结构发生畸变,而六方结构的畸变导致薄膜的漏电流机制由欧姆机制和空间电荷机制共存转变为单一欧姆机制,最终降低了漏电流密度。
公开/授权文献
- CN109576681B 一种低漏电流的YDMCO薄膜及其制备方法 公开/授权日:2021-01-08
IPC分类: