一种柔性力学图案化传感器及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种柔性力学图案化传感器,包括第一柔性衬底层、第二柔性衬底层以及柔性敏感层;第一柔性衬底层的下表面上刻蚀有第一图案,第二柔性衬底层的上表面上刻蚀有第二图案,第一柔性衬底层的上表面和第二柔性衬底层的下表面粘接,柔性敏感层采用化学方法复合于第二柔性衬底层的上表面上;第一柔性衬底层、第二柔性衬底层以及柔性敏感层形成一个整体结构,所述整体结构外复合有柔性封装层;该传感器上还电连接有两个电极,两个电极均贯穿所述柔性封装层且伸出,在第二柔性衬底层上刻蚀第二图案能够提高柔性敏感层自身的灵敏度和拉伸性能,通过设计不同的结构,满足不同传感器的需求。
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