基于MEMS工艺的多层钯基微热氢气传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118671149A

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202410834599.2

    申请日:2024-06-26

    IPC分类号: G01N27/12 G01K7/00 B81C3/00

    摘要: 本发明属于MEMS技术、材料、传感器领域,涉及氢气传感器,具体提供一种基于MEMS工艺的多层钯基微热氢气传感器及其制备方法,用以实现小型化、加热效率高,响应时间快、控温精确及电路兼容性好的技术目标。本发明中衬底上依次层叠设置的测温电极、测温‑加热电极隔离层、加热电极、加热‑氢敏电极隔离层与氢敏电极共同形成多层重叠结构,将加热电极与其上、下层叠的氢敏电极、测温电极之间设置相同的隔离层,使测温电极与氢敏电极处于同一温度区域,提高加热效率的同时实现精确控温,进而提升钯基微热氢气传感器在不同应用场景的适用性;并且,通过在多层重叠结构开设镂空结构,形成阻热区域,能够进一步提升加热效率,降低器件功耗。

    一种基于神经网络的氢气传感器浓度快速检测方法

    公开(公告)号:CN118013358A

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202410078920.9

    申请日:2024-01-19

    摘要: 本发明属于气体浓度检测技术领域,具体提供一种基于神经网络的氢气传感器浓度快速检测方法,用以解决传统氢气浓度检测存在的检测时间长、平均相对误差大等问题。本发明提出了一种基于LSTM编码器与全连接层的氢气浓度预测模型,实现氢气传感器浓度的快速检测;通过提取响应初始阶段的电阻值,在编码器中实现特征提取,降低维数去除冗余特征,最后通过由编码器连接全连接层组成的预测模型对电阻值特征进行更精细的学习,即可实现氢气浓度的预测,完成氢气浓度的快速检测;并且,模型结构简单,隐藏层的层数少,在高精度结果下,内存占用少、训练速度快;同时简化了硬件实现难度;综上,本发明能够实现对氢气浓度的快速、准确检测。

    一种自聚集生长单分散HgTe量子点的合成方法

    公开(公告)号:CN117776121A

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202410009479.9

    申请日:2024-01-03

    摘要: 本发明提供一种自聚集生长单分散HgTe量子点的合成方法,属于短波红外光电材料技术领域,具体为:制备TOPTe前驱体溶液和Hg前驱体溶液,将TOPTe前驱体溶液注入Hg前驱体溶液中,35~50℃搅拌8~10min,得到HgTe量子点籽晶溶液;对油胺溶液进行脱气处理,将HgTe量子点籽晶溶液注入油胺溶液,70~90℃下自聚集生长3~5min,加入淬灭剂,冷却得到待过滤HgTe量子点溶液,采用反溶剂离心清洗多次,干燥得到自聚集生长单分散HgTe量子点。本发明所得HgTe量子点的形状、尺寸均匀性高,可以实现1400~2500nm短波光吸收,具有尺寸可控、低成本的优势。

    一种多臂有机光电小分子及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN117659054A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202410073739.9

    申请日:2024-01-18

    摘要: 本发明的目的在于提供一种多臂有机光电小分子及其制备方法和应用,属于有机光电材料技术领域。该有机光电小分子以芘稠合的[1,2,5]噻二唑[3,4‑g]喹喔啉为中心,以二噻吩并环芴二烯为连接,以2‑(2‑亚甲基‑3‑氧代‑2,3‑二氢‑1H‑茚‑1‑亚基)丙二腈衍生物为末端,形成类似于二聚体结构的多臂小分子。本发明所制备的多臂有机光电小分子化合物薄膜带隙≤0.93eV,吸收光谱范围超过1.3μm;且化合物具有三维立体结构,有能够效抑制分子的过度聚集,同时形成臂间有效堆积,使得在常规有机溶剂中具有良好的溶解性,进而可以通过溶液法制备高质量的薄膜。以该有机光电小分子为受体,以PCE10为给体,实现该有机光电小分子在本体异质结型有机光探测器件中良好地应用。

    一种离子梯度发电型柔性压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN116773052B

    公开(公告)日:2023-10-27

    申请号:CN202311062095.5

    申请日:2023-08-23

    摘要: 本发明公开的一种离子梯度发电型柔性压力传感器及其制备方法,属于柔性压力传感器和柔性可穿戴电子学技术领域,具体包括自上而下设置的顶电极,包覆有第一吸湿敏感材料的第一滤纸,包覆有第二吸湿敏感材料的第二滤纸,以及底电极;第一吸湿敏感材料与第二吸湿敏感材料的吸湿性能不同。本发明基于离子梯度实现传感器的自供电,无需外部电源供电,并通过改变第一滤纸与第二滤纸之间的接触面积实现压力检测,同时满足静态压力与动态压力的检测需求,此外在传感过程中不会消耗传感器本身的材料,提升传感器寿命。

    一种动静全程敏感式人机界面传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN114858316B

    公开(公告)日:2023-09-01

    申请号:CN202210448663.4

    申请日:2022-04-27

    摘要: 本发明提出了一种动静全程敏感式人机界面传感器及制备方法。该传感器为单电极结构,由底电极和其上的纳米复合薄膜构成。其中,纳米复合薄膜是压电陶瓷和聚合物的复合物,在聚合物固化过程中借助外接的摩擦纳米发电机施加交变电场,将压电陶瓷纳米颗粒沿着聚合物薄膜厚度方向进行定向排布,首尾相接组成纳米棒,使聚合物基复合薄膜具有特定取向,从而在陶瓷填料的体积分数相同的情况下,同时提升复合薄膜的介电常数ε33与压电系数d33。介电常数ε33的增加将提升隔空感应时的接近觉探测灵敏度,压电系数d33的增加将提升按压时的压力探测灵敏度。本发明简单易行,充分利用了界面处动态和准静态运动能量,增加了探测维度。

    基于丝瓜瓤结构的全可降解柔性压力传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN116295972A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310308301.X

    申请日:2023-03-27

    IPC分类号: G01L1/20 B41M1/12 G01L9/02

    摘要: 本发明提出了一种基于丝瓜瓤生物结构的全可降解柔性压力传感器及制备方法。该传感器从下至上依次为下可降解柔性封装层、下导电电极、丝瓜瓤结构复合导电层、上导电电极、上可降解柔性封装层,本发明将天然丝瓜瓤柔性三维骨架与可降解导电材料相结合,充分利用了丝瓜瓤结构复合导电层中不同导电网络之间、单根导电纤维、导电材料本身的多级形变,实现在不同压力范围内力敏机理切换,扩大了压力检测范围并在较宽范围内保持良好的线性响应。本发明提出的器件结构利用了天然植物的形貌结构,制作简单且成本低廉,器件本身可在自然条件下全可降解,环境友好,并能够在较宽范围内对外界静、动态压力有良好响应。