Invention Grant
- Patent Title: 一种大面积铁磁性靶材焊接方法及装置
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Application No.: CN201811525526.6Application Date: 2018-12-13
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Publication No.: CN109590560BPublication Date: 2020-11-27
- Inventor: 罗俊锋 , 郭凤歧 , 徐国进 , 陈淼琴 , 李勇军 , 庞欣 , 熊柏青 , 贺昕 , 刘晓 , 崔佳
- Applicant: 有研亿金新材料有限公司
- Applicant Address: 北京市昌平区超前路33号
- Assignee: 有研亿金新材料有限公司
- Current Assignee: 有研亿金新材料有限公司
- Current Assignee Address: 北京市昌平区超前路33号
- Agency: 北京众合诚成知识产权代理有限公司
- Agent 张文宝
- Main IPC: B23K1/00
- IPC: B23K1/00 ; B23K3/00 ; B23K3/08 ; B23K37/04
Abstract:
本发明公开一种铁磁性溅射靶材焊接方法及装置，该方法通过永磁吸盘平台对铁磁性靶材的磁力作用，使靶材、焊料与背板之间均匀结合，提高大面积铁磁性靶材焊接质量，靶材焊合率高，靶材厚度均匀性好。该焊接技术，操作简单，可重复性强，利用磁性平台焊接装置可实现大面积铁磁性靶材的高质量焊接，靶材的溅射性能明显提高。
Public/Granted literature
- CN109590560A 一种大面积铁磁性靶材焊接方法及装置 Public/Granted day:2019-04-09
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