一种背面强化的单体靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN115369366B

    公开(公告)日:2023-02-14

    申请号:CN202211299707.8

    申请日:2022-10-24

    IPC分类号: C23C14/34 B23P15/00

    摘要: 本发明公开了一种背面强化的单体靶材及其制备方法,该背面强化的单体靶材包括一体成型的溅射层和强化层;所述溅射层的晶粒尺寸≤100μm;所述强化层位于溅射层的背面,强化层的硬度大于溅射层的硬度,强化层的厚度为0.5mm‑3mm,强化层的晶粒尺寸≤1μm。一方面本发明提供的背面强化的单体靶材不需要增加背板,避免了高成本和流程复杂的扩散焊接工艺;另一方面,相对于大尺寸靶材的整体强塑性变形工艺,本发明提供的方法仅仅是在靶材背面进行区域强塑性变形,工艺简单灵活。此外,本发明公开的方法能够改善材料表层的微观组织结构,有效提高工件的机械性能,进而使靶材的强度得到显著提升。

    一种低气体含量电解钴的制备方法

    公开(公告)号:CN108950598B

    公开(公告)日:2020-03-27

    申请号:CN201810768334.1

    申请日:2018-07-13

    IPC分类号: C25C1/08

    摘要: 本发明属于电解精炼技术领域,具体涉及一种低气体含量电解钴的制备方法。所述方法包括以下步骤:1)钴氨体系:将质量分数10%~15%的氨水加入氯化钴溶液中发生络合反应,得到钴氨溶液;2)溶液循环:将步骤1)所得溶液通入隔膜电解槽中,单个阴极隔膜区内流速3L/h~4L/h;3)电解:采用脉冲电源电解沉积钴,控制占空比40:1,电沉积钴极板中气体元素氧低于10ppm,碳低于5ppm。本发明能有效防止电沉积过程由于阴极气体含量增大引起极板板面疏松、气孔多、降低电解钴物理质量等不合格问题,大大提高电解钴成品率,且工艺操作简单,便于扩大化规模生产。

    靶材尺寸及孔位同步检测系统及检测方法

    公开(公告)号:CN117367284B

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202311658493.3

    申请日:2023-12-06

    摘要: 本发明公开了一种靶材尺寸及孔位同步检测系统及检测方法;其中XYZ三轴线性模组安装在检测平台上;测头基台固定在XYZ三轴线性模组中主轴移动台下端;测针连接头固定在测头基台的正下端,测针连接头的两侧与安装有相机转动装置的固定端固接,两个相机转动装置的转动端分别安装有第一相机和第二相机,第一相机和与第一相机相连的相机转动装置、以及第二相机和与第二相机相连的相机转动装置相对于测针连接头的轴线对称,测针连接头两侧的对于测针连接头轴对称设置,检测探针固定于测针连接头下方。本发明将尺寸检测及孔位视觉检测集成于一台装备上实现,通过双摄像合成判定以及三坐标测针复核,避免人工检测的误差或漏检,提高检测速度。

    靶材尺寸及孔位同步检测系统及检测方法

    公开(公告)号:CN117367284A

    公开(公告)日:2024-01-09

    申请号:CN202311658493.3

    申请日:2023-12-06

    摘要: 本发明公开了一种靶材尺寸及孔位同步检测系统及检测方法;其中XYZ三轴线性模组安装在检测平台上;测头基台固定在XYZ三轴线性模组中主轴移动台下端;测针连接头固定在测头基台的正下端,测针连接头的两侧与安装有相机转动装置的固定端固接,两个相机转动装置的转动端分别安装有第一相机和第二相机,第一相机和与第一相机相连的相机转动装置、以及第二相机和与第二相机相连的相机转动装置相对于测针连接头的轴线对称,测针连接头两侧的对于测针连接头轴对称设置,检测探针固定于测针连接头下方。本发明将尺寸检测及孔位视觉检测集成于一台装备上实现,通过双摄像合成判定以及三坐标测针复核,避免人工检测的误差或漏检,提高检测速度。

    一种背面强化的单体靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN115369366A

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN202211299707.8

    申请日:2022-10-24

    IPC分类号: C23C14/34 B23P15/00

    摘要: 本发明公开了一种背面强化的单体靶材及其制备方法,该背面强化的单体靶材包括一体成型的溅射层和强化层;所述溅射层的晶粒尺寸≤100μm;所述强化层位于溅射层的背面,强化层的硬度大于溅射层的硬度,强化层的厚度为0.5mm‑3mm,强化层的晶粒尺寸≤1μm。一方面本发明提供的背面强化的单体靶材不需要增加背板,避免了高成本和流程复杂的扩散焊接工艺;另一方面,相对于大尺寸靶材的整体强塑性变形工艺,本发明提供的方法仅仅是在靶材背面进行区域强塑性变形,工艺简单灵活。此外,本发明公开的方法能够改善材料表层的微观组织结构,有效提高工件的机械性能,进而使靶材的强度得到显著提升。