- 专利标题: 电注入硅基III-V族边发射纳米线激光器及其制备方法
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申请号: CN201910102887.8申请日: 2019-01-31
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公开(公告)号: CN109638648B公开(公告)日: 2020-05-19
- 发明人: 李亚节 , 周旭亮 , 王梦琦 , 于红艳 , 杨文宇 , 潘教青 , 王圩
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 李佳
- 主分类号: H01S5/34
- IPC分类号: H01S5/34 ; H01S5/343
摘要:
本发明公开了一种电注入硅基III‑V族边发射纳米线激光器的制备方法,包括:在SOI衬底上沉积二氧化硅层,在所述二氧化硅层上刻蚀矩形沟槽;在矩形沟槽下方的所述SOI衬底的顶层硅中腐蚀v形沟槽,与所述矩形沟槽连通形成连通沟槽;在所述连通沟槽中生长硅基III‑V族边发射纳米线激光器的外延结构;在所述硅基III‑V族边发射纳米线激光器上制备金属电极图形。本发明为在SOI衬底上外延的III‑V族纳米线材料提供了实现电注入的工艺方法,同时所制备的电极可以用于测试硅基III‑V族边发射纳米线激光器动态特性。
公开/授权文献
- CN109638648A 电注入硅基III-V族边发射纳米线激光器及其制备方法 公开/授权日:2019-04-16