电注入硅基III-V族边发射纳米线激光器及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种电注入硅基III‑V族边发射纳米线激光器的制备方法,包括:在SOI衬底上沉积二氧化硅层,在所述二氧化硅层上刻蚀矩形沟槽;在矩形沟槽下方的所述SOI衬底的顶层硅中腐蚀v形沟槽,与所述矩形沟槽连通形成连通沟槽;在所述连通沟槽中生长硅基III‑V族边发射纳米线激光器的外延结构;在所述硅基III‑V族边发射纳米线激光器上制备金属电极图形。本发明为在SOI衬底上外延的III‑V族纳米线材料提供了实现电注入的工艺方法,同时所制备的电极可以用于测试硅基III‑V族边发射纳米线激光器动态特性。
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