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一种平面度快速测量方法
Abstract:
本发明公开了一种平面度快速测量方法,包括如下步骤:步骤一,将被测样品放置在一个水平台面上,其被测面朝下;步骤二,水平台面内部安装有多个激光位移传感器,并在台面上设置有测量孔;步骤三,开启激光位移传感器,同时可以移动被测样品,利用激光位移传感器扫过样品表面多个位置;步骤四,激光位移传感器将测量结果自动写入采集程序中,并提取最大值和最小值,从而得到平面度信息;步骤五,将测量结果自动填入输出模板中,并打印平面度测试报告。本发明的平面度快速测量方法,能够快速准确的进行平面度测量,一致性高。
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