锑化铟薄膜太赫兹超表面及其热调谐方法、制备方法
Abstract:
本发明实施例提供了一种锑化铟薄膜太赫兹超表面及其热调谐方法、制备方法,通过将太赫兹超表面设置为矩形基板层,柱阵列结构层,以及锑化铟薄膜三层结构,能够实现在温度改变时,锑化铟薄膜的介电常数随之改变,从而使本发明实施例的太赫兹超表面的共振频率发生改变,因此,本发明实施例的太赫兹超表面能够通过改变温度改变共振频率,同时增加太赫兹波共振频率的调谐范围,并且,本发明实施例的太赫兹超表面制备方法简单,适合广泛地应用于光电制造领域,从而提高太赫兹超表面的应用范围。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0