在基底边缘处具有波导和波导折射率匹配材料的光耦合器
摘要:
本申请提供了一种装置,包括在基底边缘处具有波导和波导折射率匹配材料的光耦合器,以及形成该装置的方法。该装置包括:具有边缘的基底,以及邻近于该边缘而形成在其中的开口;在基底上的绝缘体层,其在边缘处形成跨越开口的桥;在绝缘体层上的波导,其中该波导包括恒定宽度区域和终止于开口的区域中的边缘处的锥形区域;在开口中的光环氧树脂的第一层,其中光环氧树脂的折射率匹配于绝缘体层;和,锥形区域上的光环氧树脂的第二层,使得光环氧树脂在光学上包含从锥形区域中的波导泄漏的光信号。
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