具有背侧凹部的光学环形谐振器结构

    公开(公告)号:CN109690375B

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201780054698.7

    申请日:2017-09-08

    摘要: 本申请提供了一种在装置上设置有背侧凹部的光学环形谐振器结构。该装置包括:基板,具有装置侧和与装置侧相对的背侧;光学环形谐振器,位于该基板的该装置侧;加热器,其形状与光学环形谐振器互补,加热器定位成用于加热光学环形谐振器;一条或多条金属走线,至少连接到加热器,该一条或多条金属走线构造成向加热器提供能量并从加热器向外延伸。该装置还包括在该基板背侧上的凹部,该凹部以该光学环形谐振器为中心,并且其直径分别大于该光学环形谐振器和该加热器的外径,该凹部进一步横向延伸进入该一条或多条金属走线的区域中。

    具有背侧凹部的光学环形谐振器结构

    公开(公告)号:CN109690375A

    公开(公告)日:2019-04-26

    申请号:CN201780054698.7

    申请日:2017-09-08

    摘要: 本申请提供了一种在装置上设置有背侧凹部的光学环形谐振器结构。该装置包括:基板,具有装置侧和与装置侧相对的背侧;光学环形谐振器,位于该基板的该装置侧;加热器,其形状与光学环形谐振器互补,加热器定位成用于加热光学环形谐振器;一条或多条金属走线,至少连接到加热器,该一条或多条金属走线构造成向加热器提供能量并从加热器向外延伸。该装置还包括在该基板背侧上的凹部,该凹部以该光学环形谐振器为中心,并且其直径分别大于该光学环形谐振器和该加热器的外径,该凹部进一步横向延伸进入该一条或多条金属走线的区域中。