本发明公开了一种四氯化硅转化为三氯氢硅的装置和方法，该装置包括：第一流化床反应器，用于通入四氯化硅、氢气、硅发生冷氢化反应生成三氯氢硅；第二流化床反应器，与第一流化床反应器连接，第一流化床反应器内的物料流入到第二流化床反应器中，与第一流化床反应器内物料流动方向垂直的第一流化床反应器的截面为第一截面，与第二流化床反应器内物料流动方向垂直的第二流化床反应器的截面为第二截面，第二截面比第一截面大，第一流化床反应器出口与第二流化床反应器入口之间的管道上设置有第一开口。本发明的装置可以使得第二流化床反应器维持与第一流化床反应器近似或相同的流化态，增加了整个装置单位时间的四氯化硅的处理量和三氯化硅产量。