一种基于SOI材料制备的跑道型微环2×4热光开关
摘要:
本发明公开了一种基于SOI材料制备的跑道型微环2×4热光开关,包括基于SOI材料制备的直波导和跑道型微环波导,以及顶层的热电极;其中跑道型微环波导由弯曲波导和短直波导构成闭合跑道,所述跑道型微环波导与直波导间构成耦合区,直波导间交叉部分采用多模波导交叉结构。所述顶部热电极加载的数字电信号作用下实现光通道的快速切换。本发明可以实现多输入多输出光信号的同时切换,可应用于光开关阵列、光路由、光逻辑门设计、集成光路中单元器件工作状态检测。
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