本发明揭示了一种高精度MEMS陀螺仪，包括硅基底及两个质量块，两个所述质量块对称设置于所述硅基底上，还包括一干扰模态隔离结构，两个所述质量块均为框架结构、由质量块外框及质量块内框组合而成，两个所述质量块外框分别与所述硅基底上的锚点相连接，两个所述质量块内框借助所述干扰模态隔离结构相连接。本发明采用了一种组合梁式干扰模态隔离结构，将目前具有解耦框架和差分结构的MEMS陀螺仪的内框架进行了连接，从而提高了驱动模态与检测模态间的同向模态固有频率，使驱动模态与检测模态相邻，实现了隔离干扰模态的效果。