- 专利标题: 一种在晶圆测试过程中动态调整测试条件的方法
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申请号: CN201811647709.5申请日: 2018-12-29
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公开(公告)号: CN109741779B公开(公告)日: 2020-10-16
- 发明人: 王帆 , 黄华 , 史丽君
- 申请人: 西安紫光国芯半导体有限公司
- 申请人地址: 陕西省西安市高新区软件新城天谷八路528号国家电子商务示范基地西区606
- 专利权人: 西安紫光国芯半导体有限公司
- 当前专利权人: 西安紫光国芯半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市高新区软件新城天谷八路528号国家电子商务示范基地西区606
- 代理机构: 西安通大专利代理有限责任公司
- 代理商 徐文权
- 主分类号: G11C29/00
- IPC分类号: G11C29/00
摘要:
本发明公开了一种在晶圆测试过程中动态调整测试条件的方法,包括以下步骤:S100,晶圆起测;S200,监测测试项运行,使用该监测测试项的测试结果来预判当前被测晶圆的良率:如果通过监测测试项的结果预判当前被测晶圆良率合格,则按照第一组测试参数进行步骤S300;如果预判当前被测晶圆良率不合格,则按照第二组测试参数进行步骤S300;S300,按顺序执行晶圆常规测试项目;S400,测试结束。该方法节省了封装的成本,并提高了后端测试的良率。
公开/授权文献
- CN109741779A 一种在晶圆测试过程中动态调整测试条件的方法 公开/授权日:2019-05-10