一种在晶圆测试过程中动态调整测试条件的方法
摘要:
本发明公开了一种在晶圆测试过程中动态调整测试条件的方法,包括以下步骤:S100,晶圆起测;S200,监测测试项运行,使用该监测测试项的测试结果来预判当前被测晶圆的良率:如果通过监测测试项的结果预判当前被测晶圆良率合格,则按照第一组测试参数进行步骤S300;如果预判当前被测晶圆良率不合格,则按照第二组测试参数进行步骤S300;S300,按顺序执行晶圆常规测试项目;S400,测试结束。该方法节省了封装的成本,并提高了后端测试的良率。
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