一种基于SCR的高维持电压ESD器件
摘要:
本发明提供一种基于SCR的高维持电压ESD器件,包括:P型衬底、NWELL区、第一N+接触区、第一P+接触区、PWELL区、第一齐纳注入区、第二N+接触区、第二P+接触区;第一齐纳注入区覆盖第二N+接触区尺寸为D1,第二P+接触区位于第二N+接触区右侧;第一N+接触区、第一P+接触区通过金属短接形成金属阳极;第二N+接触区、第二P+接触区通过金属短接形成金属阴极,本发明可以通过控制齐纳注入覆盖第二N+接触区距离D1调节器件的维持电压,可以通过控制浮空N+区与浮空P+区距离D2调节触发电压,本发明版图结构,在不增加横向面积的条件下,显著提高了器件的鲁棒性。
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