发明授权
- 专利标题: 一种基于SCR的高维持电压ESD器件
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申请号: CN201910059548.6申请日: 2019-01-22
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公开(公告)号: CN109768041B公开(公告)日: 2021-01-22
- 发明人: 乔明 , 齐钊 , 何林蓉 , 肖家木 , 梁龙飞 , 童成伟 , 张发备 , 张波
- 申请人: 电子科技大学
- 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 代理机构: 成都点睛专利代理事务所
- 代理商 敖欢; 葛启函
- 主分类号: H01L27/02
- IPC分类号: H01L27/02
摘要:
本发明提供一种基于SCR的高维持电压ESD器件,包括:P型衬底、NWELL区、第一N+接触区、第一P+接触区、PWELL区、第一齐纳注入区、第二N+接触区、第二P+接触区;第一齐纳注入区覆盖第二N+接触区尺寸为D1,第二P+接触区位于第二N+接触区右侧;第一N+接触区、第一P+接触区通过金属短接形成金属阳极;第二N+接触区、第二P+接触区通过金属短接形成金属阴极,本发明可以通过控制齐纳注入覆盖第二N+接触区距离D1调节器件的维持电压,可以通过控制浮空N+区与浮空P+区距离D2调节触发电压,本发明版图结构,在不增加横向面积的条件下,显著提高了器件的鲁棒性。
公开/授权文献
- CN109768041A 一种基于SCR的高维持电压ESD器件 公开/授权日:2019-05-17
IPC分类: