发明公开
CN109768043A 半导体器件
审中-实审
- 专利标题: 半导体器件
- 专利标题(英): Semiconductor device
-
申请号: CN201811324302.9申请日: 2018-11-08
-
公开(公告)号: CN109768043A公开(公告)日: 2019-05-17
- 发明人: 裵德汉 , 罗炫旭 , 李炯宗 , 朴柱勋
- 申请人: 三星电子株式会社
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 屈玉华
- 优先权: 10-2017-0149280 2017.11.10 KR
- 主分类号: H01L27/11
- IPC分类号: H01L27/11 ; H01L27/092
摘要:
一种半导体器件包括:基板,包括有源图案;器件隔离层,填充一对相邻的有源图案之间的沟槽;栅极电极,在有源图案上;以及栅极接触,在栅极电极上。每个有源图案包括在栅极电极的相反两侧的源极/漏极图案。栅极接触包括第一部分以及第二部分,第一部分与栅极电极竖直地交叠,第二部分从第一部分横向地延伸以使得第二部分与器件隔离层竖直交叠而不与栅极电极竖直交叠。第二部分的底表面相对于第一部分的底表面在基板的远端。第二部分的底表面相对于邻近第二部分的源极/漏极图案的顶部在基板的远端。
公开/授权文献
- CN109768043B 半导体器件 公开/授权日:2023-06-16
IPC分类: