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半导体器件
摘要:
一种半导体器件包括:基板,包括有源图案;器件隔离层,填充一对相邻的有源图案之间的沟槽;栅极电极,在有源图案上;以及栅极接触,在栅极电极上。每个有源图案包括在栅极电极的相反两侧的源极/漏极图案。栅极接触包括第一部分以及第二部分,第一部分与栅极电极竖直地交叠,第二部分从第一部分横向地延伸以使得第二部分与器件隔离层竖直交叠而不与栅极电极竖直交叠。第二部分的底表面相对于第一部分的底表面在基板的远端。第二部分的底表面相对于邻近第二部分的源极/漏极图案的顶部在基板的远端。
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