本文公开了单电子晶体管（SET）器件以及相关方法和设备。在一些实施例中，一种SET器件可包括：第一和第二源极/漏极（S/D）电极，其被分别布置在第一绝缘支撑件的侧面上和第二绝缘支撑件的侧面上；岛，其被布置在第一和第二S/D电极之间并且延伸到第一和第二绝缘支撑件之间的区域中。在一些实施例中，一种SET器件可包括：第一和第二S/D电极，其被布置在基体上；岛，其被布置在第一和第二S/D电极之间的区域中；第一和第二电介质部分，其被分别布置在所述岛与第一和第二S/D电极之间；以及第三电介质部分，其被布置在所述基体和所述岛之间。