一种同侧阵列波导光栅芯片
摘要:
本发明公开了一种同侧阵列波导光栅芯片,包括输入波导结构、输入平板结构、阵列波导结构、输出平板结构和输出波导结构;输入波导结构经输入平板结构与阵列波导结构连接,阵列波导结构经输出平板结构和输出波导结构连接,且输入波导结构的一个输入波导与输出波导结构的输出波导位于同一侧;输入平板结构和输出平板结构对称设置;本发明具有以下有益效果:1)尺寸紧凑,易于和其它器件集成。2)提高测试的效率和准确性。
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