一种激光打标装置及方法
摘要:
本发明公开了一种激光打标装置及方法,包括:样品臂光路系统、探测光路系统和参考臂光路系统;所述样品臂光路系统包括:打标光源、第一准直透镜、二维振镜组、半反半透镜、平场聚焦镜、载物台和第一驱动模块;所述参考臂光路系统包括第一光纤接头、第三准直透镜、会聚透镜和反射镜;所述探测光路系统包括第二光纤接头、第二准直透镜、探测光源、光纤耦合器、光电探测器和电脑处理终端。本发明基于干涉原理和光学相干层析技术,提取样品上待打标点的深度位置,实时监测对焦,驱动载物台纵向移动,追踪焦平面进行打标,装置光路简单,耗能较低,自动化程度高,准确率较高,有效提高激光打标的生产效率和生产质量。
公开/授权文献
0/0