- 专利标题： 蚀刻剂组合物和使用该蚀刻剂组合物制造显示装置的方法
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申请号： CN201811389156.8申请日： 2018-11-21
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公开(公告)号： CN109811344B公开(公告)日： 2022-07-05
- 发明人: 朴种熙 , 金真锡 , 李凤源 , 金基泰 , 金奎佈 , 申贤哲 , 李大雨 , 李秉雄 , 李相赫
- 申请人： 三星显示有限公司 , 株式会社东进世美肯
- 申请人地址： 韩国京畿道龙仁市;
- 专利权人： 三星显示有限公司,株式会社东进世美肯
- 当前专利权人： 三星显示有限公司,株式会社东进世美肯
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道龙仁市;
- 代理机构： 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理商 程月; 刘灿强
- 优先权： 10-2017-0155817 20171121 KR
- 主分类号： C23F1/30
- IPC分类号： C23F1/30 ; C23F1/16 ; C09K13/06 ; H01L51/56 ; H01L51/52 ; H01L27/32
摘要：
提供了一种蚀刻剂组合物和使用该蚀刻剂组合物制造显示装置的方法。所述蚀刻剂组合物相对于蚀刻剂组合物的总重量包括约8.5wt％至约10wt％的无机酸化合物、约1wt％至约10wt％的硫酸氢盐化合物、约50wt％至约60wt％的有机酸化合物、约1wt％至约5wt％的磺酸化合物、约1wt％至约5wt％的螯合物和作为余量的水。
公开/授权文献
- CN109811344A 蚀刻剂组合物和使用该蚀刻剂组合物制造显示装置的方法 公开/授权日：2019-05-28
IPC分类:
